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集成電路行業(yè)廢氣處理如何保證效果？

【時(shí)間】2020-07-03? ?【作者】恒藍(lán)環(huán)保編輯 ?【點(diǎn)擊】次???TAG:廢氣處理(138)行業(yè)(7)集成電路(1)???

前幾天，有客戶(hù)打電話(huà)咨詢(xún)集成電路的廢氣處理問(wèn)題，小編與技術(shù)人員溝通后給客戶(hù)回復(fù)了方案及報(bào)價(jià)，對(duì)于集成電路所產(chǎn)生的環(huán)保問(wèn)題，主要有生產(chǎn)和生活廢水，還有車(chē)間內(nèi)的廢氣和固體廢物等，對(duì)于廢水和固廢的處理本文不詳細(xì)介紹，但是對(duì)于集成電路行業(yè)的廢氣處理，需要為您詳細(xì)的介紹一下，以便對(duì)您選擇環(huán)保設(shè)備有那么一點(diǎn)點(diǎn)的幫助，本文由恒藍(lán)環(huán)保公司小編帶您了解集成電路行業(yè)廢氣處理采用什么方法？

首先，對(duì)于集成電路行業(yè)的廢氣需要?dú)w納一下，這些廢氣是有幾個(gè)種類(lèi)呢？一般是有五種左右的不同廢氣，有酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣、含塵廢氣、熱無(wú)處理廢氣，因?yàn)榧呻娐返纳a(chǎn)線(xiàn)通常是24小時(shí)的流水線(xiàn)，所以對(duì)于廢氣處理工程設(shè)計(jì)方面需要可靠。在生產(chǎn)集成電路的過(guò)程中所使用的硅烷、磷烷等特殊氣體基本上均為危險(xiǎn)、有毒化學(xué)品,在生產(chǎn)裝置的工藝排氣中有未反應(yīng)的氣體、特殊氣體鋼瓶交換時(shí)也有氣體排出，且發(fā)生意外時(shí),有可能大量的工藝氣體因泄漏而排出，需要就近進(jìn)行處理。處理的方法有水洗式、干式吸附式、燃燒/加熱分解式。

言歸正傳，集成電路行業(yè)的廢氣需要采用廢氣凈化塔進(jìn)行處理，一般采用氣液逆流操作，尾部的離心風(fēng)機(jī)將收集到的廢氣吸到廢氣吸收洗滌凈化塔內(nèi)，經(jīng)過(guò)噴淋層和填料層，廢氣與吸收液進(jìn)行氣液兩相充分接觸吸收中和反應(yīng)，廢氣經(jīng)過(guò)三級(jí)凈化后，再經(jīng)除霧板脫水除霧后，引入吸附設(shè)備，利用蜂窩狀活性炭的多孔結(jié)構(gòu)，活性炭孔壁上的大量的分子可以產(chǎn)生強(qiáng)大的引力，從而達(dá)到將介質(zhì)中的雜質(zhì)吸引到孔徑中的目的，然后經(jīng)過(guò)15米的煙囪高空排放到大氣中。

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